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用氧气－乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜，并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律。对基片进行了适当的预处理，可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度。认为氧化铝陶瓷片与沉积金刚石薄膜之间易形成过渡层，初步探讨了在氧化铝陶瓷片上沉积金刚石薄膜的机理。
氧气—乙炔火焰法在Al2O3陶瓷上沉积金刚石薄膜
【摘 要】
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用氧气－乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜，并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律。对基片进行了适当的预处理，可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度。认
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院无机材料系
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金!19474035
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