苯热合成法制备强紫外光致发光a-SiO_xC_yH_z 膜

来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingqiu12157
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用苯热合成法分别在200℃、300℃、400℃下制得非晶SiOxCyHz膜,在室温下观测到强的紫外光致发光,典型样品的发光强度可与多孔硅相比。实验中发现不同温度下生长的样品,其发光谱中均存在340nm发光峰,在400℃生长的样品的发光谱中还出现了380nm的伴峰。
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