【摘 要】
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根据DBR的工作原理,以P型DBR为例,通过研究DBR的能带结构详细分析了不同的渐变区宽度和不同的掺杂浓度下的DBR的电学特性和反射特性.选用Al_(0.9)Ga_(0.1)As和Al_(0.1)Ga_(0.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,吉林大学农学部,中国科学院理化技术研究所,
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根据DBR的工作原理,以P型DBR为例,通过研究DBR的能带结构详细分析了不同的渐变区宽度和不同的掺杂浓度下的DBR的电学特性和反射特性.选用Al_(0.9)Ga_(0.1)As和Al_(0.1)Ga_(0.9)As作为DBR的材料,设计了980 nmVCSELs的P型DBR,通过比较确定了Al组分渐变区的宽度和整个DBR结构的掺杂浓度.依此结构制作了980 nm底发射VCSELs,器件的Ⅰ-Ⅴ特性曲线显示器件的串联电阻约为0.05Ω.
According to the working principle of DBR and the P-type DBR as an example, the electrical and reflection properties of DBR under different widths and doping concentrations are analyzed in detail by studying the energy band structure of DBR.Al_ (0.9) Ga_ (0.1) As and Al_ (0.1) Ga_ (0.9) As as DBR materials, a P-type DBR with 980 nmVCSELs was designed and the width of the graded Al composition and the doping concentration of the entire DBR structure were determined. The 980-nm bottom emission VCSELs were fabricated and the device’s I-V characteristic curve shows that the device’s series resistance is about 0.05Ω.
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