【摘 要】
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对不同偏置下碳化硅VDMOS在总剂量辐射环境中的动态和静态特性进行了研究。比较了三种偏置状态下60Coγ射线辐照对于SiC VDMOS器件静态参数（阈值电压）和动态参数（开关响应）的影响。实验结果表明，在经历一定时间的60Coγ射线辐照过后，器件的各项静态参数发生了不同程度的退化，同时器件的开启延迟略微缩短，关断延迟骤增，总开关损耗增大。γ射线辐照导致器件静态特性退化的同时其动态特性也在改变，但两
【机 构】
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中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室新疆电子信息材料与器件重点实验室中国科学院新疆理化技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目（11975305）；
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对不同偏置下碳化硅VDMOS在总剂量辐射环境中的动态和静态特性进行了研究。比较了三种偏置状态下60Coγ射线辐照对于SiC VDMOS器件静态参数（阈值电压）和动态参数（开关响应）的影响。实验结果表明，在经历一定时间的60Coγ射线辐照过后，器件的各项静态参数发生了不同程度的退化，同时器件的开启延迟略微缩短，关断延迟骤增，总开关损耗增大。γ射线辐照导致器件静态特性退化的同时其动态特性也在改变，但两者退化规律具有一定的差异性。
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