小尺寸物体三维面形高精度测量

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采用变形光栅条纹图样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量,研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪,范围范围(30×30)mm^2,精度20μm,初步用于人类牙龄表面三维测量,最后提出了存在的问题和改进方向。
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