【摘 要】
：
介绍了一种新型的基于直线相位光栅干涉三维表面形貌测量仪,该测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点。该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传
【机 构】
：
华中科技大学机械科学与工程学院,洛阳理工学院机电工程系
论文部分内容阅读
介绍了一种新型的基于直线相位光栅干涉三维表面形貌测量仪,该测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点。该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成。该轮廓仪工作台的工作范围为50mm×50mm,最小步距为0.2μm,工作台计量系统的分辨率为0.05μm,微位移传感器理论垂直分辨率可达到0.12nm,实际测量量程为2mm,通过更换测杆可以达到6mm的测量量程。
其他文献
广告互文性理论认为,广告文本意义的实现过程是读者积极参与建构的过程,潜在消费者对广告的理解和接受直接决定了广告创意效果的实现。潜在消费者对广告文本的接受和理解总是
近十多年来,辽宁省来华留学生教育发展迅猛。留学生数量稳定增长,选学专业分布趋于分散,生源地均衡并趋于稳定,学生类别层次逐渐提升。辽宁省的现实情况对来华留学生教育既有
<正>自从八十年代我国兴起了模糊语言学这一新兴学科后,引起了不少专家、学者的重视和探索。模糊理论不仅扩大了语言学界的视野,而且还大大丰富了语义学的研究内容,拓展了它
近年来,高校酒店管理专业与外资酒店集团的战略合作取得了长足的发展。但酒店合作方培训师的课堂教学质量还比较薄弱,文章在讨论酒店培训师在高校授课教学质量要求的基础上,
[目的]提高在骨科手术中突发急性致死性肺血栓栓塞症的认识,探索积极有效的抢救治疗方法,减少死亡率。[方法]回顾性分析2007年5月～2012年5月6例在术前未发现血栓,但在骨科手术
利用Cu(NO3)2·3H2O甲醇溶液和双吡咯亚胺配体二氯甲烷溶液通过扩散法合成了一种新型双核铜配合物,通过元素分析、红外吸收光谱和热重分析对配合物进行了表征,并利用X射线单
<正>近日,从总部位于北京中关村的华锐风电科技(集团)股份有限公司了解到,其全球最先进的单机容量6 MW风力发电机组研发工作进展顺利,首台样机将于今年6月下线。这意味着,中
图书馆网站作为用户服务和形象展示的平台,传达图书馆的社会责任。以国内19个城市公共图书馆网站为调查对象,具体分析图书馆社会责任的主题类型、实践对象、实践载体和网站呈
随着政府债务的不断扩张,科学消化债务的工作引起各级政府的高度关注。基于长期发展的要求,在确保经济增长质量和效益的情况下,必须尽可能地消化政府债务的增量,切实维护和提
<正>在全国两会火热召开之际,手机百度与央视进一步展开深度合作,推出了两会议题独家投票平台,为网民建立起互动桥梁,让两会议题的相关民意得到了更畅通的传达。同时,在午间