膜厚对SnO2:Sb薄膜红外光学性能的影响

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采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2(SnO2:Sb)薄膜。研究了膜厚对SnO2:Sb薄膜红外光学性能的影响,利用X射线衍射仪、分光光度计、霍尔效应测试系统对薄膜样品进行表征和测试。结果表明:SnO2:Sb薄膜为四方金红石型结构;当膜厚为1220nm时,薄层电阻最小,为157Ω/□;在红外波段,透射率随膜厚的增加显著下降,当膜厚为890nm时,在波长2000nm处,透射率接近于0,膜厚为1220nm时,在波长1750nm处,透射率为0。
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