【摘 要】
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An innovative method for high-speed micro-dicing of SiC has been proposed using two types of diamond dicing blades,a resin-bonded dicing blade and a metal-bonded dicing blade.The experimental research investigated the radial wear of the dicing blade,the m
【机 构】
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SchoolofMechanicalEngineering
【基金项目】
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This work was supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.51305278),LiaoNing Revitalization Talents Program,China(Grant No.XLYC2007133),the Natural Science Foundation of Lia
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An innovative method for high-speed micro-dicing of SiC has been proposed using two types of diamond dicing blades,a resin-bonded dicing blade and a metal-bonded dicing blade.The experimental research investigated the radial wear of the dicing blade,the m
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