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制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW.
低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器
【摘 要】
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制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2001AA312250)
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