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研究了ONH836氧氮氢测定仪测定金属硅中氮含量的测定方法。通过正交试验分析了主要因素及水平对测定结果的影响,确定了最佳分析条件。最佳分析条件为采用座坩埚,称样质量为0. 05～0. 15g,分析功率为4500W。该方法测定下限为0. 0020%。分析了该测试方法的精密度及准确度。采用该方法测定硅中氮得到的RSD 〈6%;加标回收率在92%～112%之间,满足分析测试准确度要求。