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根据微空心阴极放电（microhollow cathode discharge，简称MHCD）的基本结构，设计了一种新颖的放电结构，它利用MHCD与第三电极（金属针）之间构成新的放电方式，产生大体积高电流密度的辉光放电等离子体，利用等离子体中强烈的准分子辐射制作紫外准分子灯。利用该放电结构进行了Xe气的放电实验，实验测到了波长为172nm的强烈准分子辐射；在400Torr气压下放电，大约有15％的内部效率；当21个这样的放电并联运行时，获得了功率密度为15mW／cm^2的真空紫外光输出。实验结果表明：利用