气态源分子束外延生长重碳掺杂P型InGaAs研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qy313

【摘要】

：

采用气态源分子束外延( GSMBE)技术,以四溴化碳( CBr4)作为碳杂质源,系统研究了 InP衬底上碳掺杂 p型 InGaAs材料的外延生长及其特性,在 AsH3压力 5.33× 104Pa,生长温

【作者】

：

徐安怀陈晓杰齐鸣朱福英

【机构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

分子束外延碳掺杂四溴化碳 INGAAS 异质结双极晶体管 molecular beam epitaxycarbon dop ingcarbon tetrab

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用气态源分子束外延( GSMBE)技术,以四溴化碳( CBr4)作为碳杂质源,系统研究了 InP衬底上碳掺杂 p型 InGaAs材料的外延生长及其特性,在 AsH3压力 5.33× 104Pa,生长温度 500℃条件下获得了空穴浓度高达 1× 1020/cm3、室温迁移率为 45cm2/Vs的重碳掺杂 p型 In0.53Ga0.47As材料. 研究了 CBr4和 AsH3束流强度以及生长温度等生长条件对碳掺杂 InGaAs外延层组份、空穴浓度和迁移率的影响,并对不同生长条件下的

其他文献

胰岛素注射宣教卡的设计和应用

笔者自制胰岛素注射宣教卡用来指导糖尿病患者正确使用胰岛素,取得了满意的效果,现报告如下。 1 临床资料 1.1对象本组160例为2009年7月至2010年7月在我科住院接受胰岛素笔

期刊

糖尿病胰岛素注射宣教卡胰岛素笔

三维适形放疗联合同期及序贯吉西他滨治疗老年Ⅲ期非小细胞肺癌的临床观察

目的观察三维适形放疗（3D-CRT）联合吉西他滨（GEM）治疗老年Ⅲ期非小细胞肺癌（NSCLC）的临床疗效及不良反应。方法老年Ⅲ期NSCLC患者共81例,以随机数字表法分成两组,其中观察组41例采

期刊

非小细胞肺癌三维适形放疗吉西他滨序贯化疗

BaAl2O4：Eu^2＋,Dy^3＋长余辉发光材料的燃烧合成及其发光特性

以金属硝酸盐和尿素为原料，采用燃烧法合成了发青绿光的BaAl2O4：Eu^2＋，Dy^3＋长余辉发光材料。采用XRD、SEM、荧光分光光度计等手段对其进行分析表征。研究结果表明：随着燃烧温度升

期刊

燃烧法铝酸钡长余辉发光材料combustion synthesis barium aluminate long afterglow phosphor

会计电算化数据安全与保密

科技的进步，社会的变革，经济的快速发展，促进了会计职能的进一步深化。会计职能的深化和发展，决定会计方法的更新。由传统的记帐、算帐、报帐的会计方法体系，深化发展到建立现代会

期刊

会计电算化数据安全会计职能财务软件数据共享

对群众储蓄情况的一次问卷调查

为了更好地了解广大群众的储蓄情况和实际反映,用作改进储蓄工作的参考,我们于九月份在市内六个区搞了一次调查,发了“职工居民储蓄情况抽样问卷调查表”,调查了不同对象600

期刊

商业服务业抽样问卷调查个人存款行业人员整存整取揽储于九融资券金融意识调查对象

中小企业资金流断缺的原因及对策

改革开放以来，我国中小企业对国民经济贡献率不断上升，特别是在扩大就业、满足人们多样化需求以及实现社会化协作等方面，均发挥出日益重要的优势和作用。但随着市场竞争的日益加

期刊

中小企业资金管理销售利润率资产

世界最薄台式机

“秉承了iPod经典设计理念的iMac G5，包括G5主机板，吸入式光驱，硬盘，扬声器，甚至是电源供应器——全部融入亮丽的显示器内。在优雅的铝合金支架的支撑下，iMac G5的宽屏幕显示器让您

期刊

台式机IMACG5苹果公司性能

对企业财务管理目标的思考

随着社会主义市场经济体制的逐步完善，企业管理已逐步成为一个由人事管理、生产管理、营销管理、财务管理等诸多子系统构成的庞大系统管理，财务管理作为一种价值管理，无疑是企业

期刊

企业财务管理风险资金管理目标

Al2O3透明陶瓷显微结构的研究

采用高纯Al2O3(＞99.9%)粉末为原料,用无压烧结工艺制备Al2O3透明陶瓷.研究了添加剂Y2O3、烧结温度、保温时间等对Al2O3透明陶瓷显微结构和光学性能的影响.实验结果表明,适量的

期刊

AL2O3透明陶瓷显微结构光学性能无压烧结氧化铝单晶可调谐激光材料Al2O3 transparent ceramics microstructur

重症重型手足口病CSF、MRI、EEG检查的临床应用价值

目的探讨脑脊液、磁共振成像及脑电图检查在手足口病并发神经系统损害早期诊断中的价值。方法65例重症重型手足口病患儿分别行脑脊液、磁共振及脑电图检查。结果脑脊液、磁共

期刊

手足口病中枢神经系统脑脊液核磁共振脑电图

气态源分子束外延生长重碳掺杂P型InGaAs研究

与本文相关的学术论文