基于温冲应力环境的Au-Al键合可靠性

来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zeus2040
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为了适应半导体器件的高可靠要求,对Au-Al键合抗温变应力性能进行了考核。试验结果表明,Au-Al键合具有较好的抗热疲劳性能,键合界面处无裂纹产生,且机械性能良好。然而试验中的高温应力导致金铝间形成了电阻率较高的化合物Au5Al2,引起键合失效。并对目前工艺水平下的Au-Al键合可靠性进行了评价,预测了键合寿命。
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