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热处理过程对HgCdTe光伏探测器性能的影响
热处理过程对HgCdTe光伏探测器性能的影响
来源 :红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:roseisdead
【摘 要】
:
本文论述了HgCdTe光伏探测器的I-V特性和暗电流机制,讨论了离子注入后退火、钝化后烘烤、倒焊互联后退火等热处理过程对HgCdTe光伏探测器性能的影响.
【作 者】
:
孙柏蔚
胡晓宁
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
:
红外
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
HGCDTE光伏探测器
退火
烘烤
HgCdTe photovoltaic detectors annealing baking
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本文论述了HgCdTe光伏探测器的I-V特性和暗电流机制,讨论了离子注入后退火、钝化后烘烤、倒焊互联后退火等热处理过程对HgCdTe光伏探测器性能的影响.
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