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微波(2.45GHz)使放电管(φ32mm)产生等离子体,在其同直径渗氮管下游区活性原子浓度高、寿命长,处理金属材料无尺寸和位置限制,45、20钢渗氮后微观分析发现,其表面没有化合物白层(ε、γ、γ'相),X射线衍射(XPD)分析,仅存在α-Fe相结构,X射线光电子谱(XPS)分析材料表面有N元素。测出渗氮试样比未渗氮试样的显微硬度高80%。其原因为α-Fe峰值位移变化,材料晶格参数改变,表面氮扩