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主要介绍了高纯硅烷的用途、生产意义、产品现状,详细介绍了现有的生产工艺,分析其优缺点。提出改进的氯硅法工艺,产品纯度能达到99.9999999%,该技术具有完全自主知识产权,可打破国外技术垄断,缓解我国高纯硅烷长期依赖进口的局面。
高纯硅烷生产技术研究进展
【摘 要】
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主要介绍了高纯硅烷的用途、生产意义、产品现状,详细介绍了现有的生产工艺,分析其优缺点。提出改进的氯硅法工艺,产品纯度能达到99.9999999%,该技术具有完全自主知识产权,可
【机 构】
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许昌首山天瑞科技有限公司,中国银河证券股份有限公司,河南理工大学
【出 处】
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河南化工
【发表日期】
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2015年10期
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