【摘 要】
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基于MOS器件中SiO2介质材料噪声灵敏表征技术,提出了SiO2介质材料抗辐射能力无损评价方法。结合噪声测试的经验及该模型为理论分析要求,使用LabView平台开发SiO2介质材料抗辐
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理学院,西安电子科技大学微电子学院
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基于MOS器件中SiO2介质材料噪声灵敏表征技术,提出了SiO2介质材料抗辐射能力无损评价方法。结合噪声测试的经验及该模型为理论分析要求,使用LabView平台开发SiO2介质材料抗辐射无损评价系统。本系统由数据采集和数据分析两个部分组成,数据采集部分主要负责噪声时间序列与频谱的采集与保存,数据分析部分的主要功能为时间序和频谱的特征值分析及SiO2介质材料抗辐射能力分析与相应器件的筛选。实验结果表明,软件性能可靠,对MOSFETT抗辐射能力的评价准确。
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