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为了在满足最低可靠性要求的同时尽量提升Ic的成品率，基于缺陷的泊松分布模型及负二项分布模型研究了由缺陷引起的Ic可靠性和成品率这两者之间的关系，并分别建立了相应的成品率一早期可靠性关系模型。基于成品率一可靠性模型，针对氧化层缺陷模型，采用模拟运算的方法，得到了随时间变化的成品率一可靠性关系模型。模型表明，在满足最低可靠性要求的同时，合理设计老化实验参数，可以最大限度地提高成品率，降低Ic制造成本。最后根据这一模型对Ic老化筛选实验的参数选择提出了优化的建议。