【摘 要】
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金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10～100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT.激光退火因具有能量高
【机 构】
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华南理工大学 发光材料与器件国家重点实验室,高分子光电材料与器件研究所,广东 广州 510641南京航空航天大学 机械结构力学及控制国家重点实验室,江苏 南京 210016;五邑大学 智能制造学部,广
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金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10～100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT.激光退火因具有能量高、速度快、对衬底损伤小和退火范围可控的特点,相比传统热退火,更适用于柔性和大尺寸背板的制备.本文综述了有关金属氧化物薄膜及MOTFT激光退火的研究进展;详细讨论了激光退火中的关键参数;系统阐述了激光对金属氧化物薄膜的作用以及激光对MOTFT性能的影响.最后,总结了现在激光退火技术存在的问题以及发展方向.
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