论文部分内容阅读
利用脉冲激光沉积技术，在MgO（100）衬底上生长了BaTi2O5薄膜，探讨了沉积条件（衬底温度和氧分压）对薄膜结构的影响，并对其介电和光学性能进行了研究。结果表明：随衬底温度和氧分压的改变，BaTi2O5薄膜的物相和结晶取向逐渐变化；适宜的脉冲激光沉积工艺为衬底温度950～1000K、氧分压12．5Pa，在该条件下获得了b轴方向择优生长的BaTi2O5薄膜；该薄膜具有较高的居里温度（750K），介电常数达2000，而且在可见光和红外波长范围内具有较高的透过率。