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对使用大容量空分机提供的产品生产超高纯氮进行了试验性研究,在纯氮中,氢、一氧化碳和氧等杂质的浓度被降到10ppb以下。为了进行评价,选择了一组反应填充物的工作参数,并且确定出了这些杂质的填充容量,还讨论了系统热力学和最佳理论特性曲线。
超高纯氮的生产
【摘 要】
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对使用大容量空分机提供的产品生产超高纯氮进行了试验性研究,在纯氮中,氢、一氧化碳和氧等杂质的浓度被降到10ppb以下。为了进行评价,选择了一组反应填充物的工作参数,并且
【机 构】
：
美国空气液体公司
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1988年03期
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