【摘 要】
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本文讨论了近年来研究的一些声加速度计的特性。这些加速度计采用压电晶体和微型机械悬臂梁作为谐振元件,而悬臂梁内含压电电容器,压阻电路,或声表面波振荡器。另一些加速度
【机 构】
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美·,Rockwell国际公司微电子研究和开发中心
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本文讨论了近年来研究的一些声加速度计的特性。这些加速度计采用压电晶体和微型机械悬臂梁作为谐振元件,而悬臂梁内含压电电容器,压阻电路,或声表面波振荡器。另一些加速度计采用一种具有闭环伺服电子线路的力再平衡技术。加速度计的灵敏度受重量和频率响应的限制,电压型加速度计灵敏度可达300mV/g,SAW加速度计可达10000Hz/g。动态范围达10~7,频率比例系数稳定性达10~(-3)ppm时,加速度计的测量范围为10μg—200000g。加速度计可以是分离的、混合集成的或整体的。
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