【摘 要】
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纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一.纳米科学技术的快速发展,不但给纳米测量技术提出了挑战,同时也给纳米测量技术提供了全新发展的机遇.综述了国内外纳米测量技术发
【机 构】
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浙江理工大学微纳米测控技术中心,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一.纳米科学技术的快速发展,不但给纳米测量技术提出了挑战,同时也给纳米测量技术提供了全新发展的机遇.综述了国内外纳米测量技术发展的现状,重点讨论了纳米材料、纳米电子学和纳米生物学等领域所涉及的纳米测量与性能表征的难题和挑战,论述了纳米科技成果给纳米测量技术带来的发展机遇,最后对纳米测量技术的发展方向做了展望.
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