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本文针对激光加工大功率激光光束光斑诊断仪诊断的要求，对探针微孔的加工要求进行了分析，介绍了微孔加工的系统，实现了对探针微孔的加工。
激光光束光斑诊断仪探针微孔的加工
【摘 要】
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本文针对激光加工大功率激光光束光斑诊断仪诊断的要求，对探针微孔的加工要求进行了分析，介绍了微孔加工的系统，实现了对探针微孔的加工。
【机 构】
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北京工业大学应用物理系国家产学研激光技术中心
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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国防科工委重点预研资助项目
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