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MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。
微电子机械技术的研究和发展趋势
【摘 要】
：
MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。
【机 构】
：
浙江工业大学
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2005年01期
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