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半导体工业的制造设备和传送设备需要在速度和位置上进行精确的测量控制，往往都会用到光栅尺或编码器等位置传感部件，来测量机械运动装置的实际运动位置及速度信息。约翰内斯·海德汉博士（HEIDENHAIN）是研制和生产直线光栅尺、角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统等产品的领先供应商。
海德汉紧盯设备制造商需求
【摘 要】
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半导体工业的制造设备和传送设备需要在速度和位置上进行精确的测量控制，往往都会用到光栅尺或编码器等位置传感部件，来测量机械运动装置的实际运动位置及速度信息。约翰内斯&#
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年11期
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