【摘 要】
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用磁控溅射法在水冷PPA聚脂胶片上制备了性能优良的ITO透明导电膜.本文重点讨论了溅射氩分压对薄膜的结构和光电特性的影响,合适的氩分压为0.5 Pa,在此条件下,制备的薄膜最小
【机 构】
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山东理工大学物理系,山东大学物理与微电子学院
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用磁控溅射法在水冷PPA聚脂胶片上制备了性能优良的ITO透明导电膜.本文重点讨论了溅射氩分压对薄膜的结构和光电特性的影响,合适的氩分压为0.5 Pa,在此条件下,制备的薄膜最小电阻率为4.6×10-4Ω@cm,相应的自由载流子霍耳迁移率有最大值为75 cm2/(V@s),在可见光范围内相对透过率为80%左右,在红外区,薄膜的等离子共振吸收波长随着氩分压的减小而变短.X射线衍射表明薄膜为多晶纤锌矿结构,垂直于衬底的C轴具有[222]方向的择优取向,随氩分压的增大,[400]峰开始增强,[222]峰
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