【摘 要】
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主轴系统(下称轴系)是影响加工(测量)精度的主要因素之一。因此,国内外很重视轴系的研究。本文就目前仪器主轴回转精度在0.1微米以内的各种超高精度轴系的结构特点作综合性的
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主轴系统(下称轴系)是影响加工(测量)精度的主要因素之一。因此,国内外很重视轴系的研究。本文就目前仪器主轴回转精度在0.1微米以内的各种超高精度轴系的结构特点作综合性的分析,并对提高轴系精度的途径及其发展趋向提出一些看法。
The spindle system (hereinafter referred to as the shaft system) is one of the main factors affecting the accuracy of machining (measurement). Therefore, domestic and foreign attach great importance to the research of the shaft system. In this paper, the structural characteristics of all kinds of ultra-high-precision shaft system with spindle rotation accuracy within 0.1 micrometer are analyzed synthetically, and some views are put forward to improve the accuracy of the shaft system and its development trend.
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