论文部分内容阅读
电压衬度（Voltage Contrast，VC）是CMOS集成电路失效分析的一种有效方法。电压衬度主要利用二次电子的发射效率与样品表面电势相关的原理。通过数据分析、电学测试等流程缩小搜索范围，再利用电压衬度原理进一步缩小范围，通过FIB精准定位缺陷并进行剖析，最终找到失效根源。作者探讨电压衬度原理，并通过具体案例，对电压衬度分析在扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）以及聚焦离子束（Focused Ionbeam，FIB）的运用作了详细阐述。