光伏InSb探测器R0A值的测试与分析

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对所生产的光伏InSb器件R0A值进行了测试,结面积为φ2.9mm的单元器件R0A值在5.71×10^4~5.75×10^6Ωcm^2之间,在50×100μm^2的线阵器件典型R0A值为3×10^4Ωcm^2,对测试结果进行了分析。讨论了器件表面漏电对R0A值的影响。
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