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采用SP0806AS中频磁控溅射镀膜机，在硅（100）和高速钢基体上，采用双石墨靶在不同功率下沉积了类金刚石薄膜。研究表明，在功率为5～7kW下薄膜具有较低的ID／IG比；所得薄膜表面平整，粗糙度Ra值在1．5～2．8nm之间，薄膜厚度随功率增加而增大；在100～200nmTi膜作为过渡层条件下，薄膜纳米硬度和弹性模量随功率增加呈先增大后减小趋势，硬度／杨氏模量比值先增大后减小，当功率为7kW时具有较高值；划痕实验临界载荷随功率增加先增大后减小，最大可大于50N；薄膜的摩擦系数较小，平均摩擦系数可小于0．