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介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波（FPW）器件的设计与制作。为减小薄膜的应力，器件采用LTO／ZnO／LTO／Si，N。多层复合板结构，并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜，在压电复合板结构上沉积两对叉指电极，分别用于Lamb波的激发和接收。X射线衍射分析表明，沉积的ZnO薄膜C轴高度择优；扫描电子显微镜分析表明，制备的ZnO薄膜平整、致密，晶粒生长呈现明显的柱状结构；通过分析制备的高次谐波体声波谐振器（HBAR）器件性能来间接检验ZnO压电薄膜的电学性能，HBAR器件的品质因子较高，表明薄膜有