【摘 要】
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针对空间相机像差特点设计了校正低阶像差的9点促动变形反射镜，变形镜能够产生离焦、像散和彗差。对变形镜进行测试，结果表明变形镜在0．5h间隔中的静态特性达到0．02λ（λ632．8nm），促
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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针对空间相机像差特点设计了校正低阶像差的9点促动变形反射镜，变形镜能够产生离焦、像散和彗差。对变形镜进行测试，结果表明变形镜在0．5h间隔中的静态特性达到0．02λ（λ632．8nm），促动器控制面形的重复性精度达到0．01λ。采用4D干涉仪的Burst检测功能检测了变形镜的动态响应特性，其响应频率高于28Hz。应用变形镜为折叠镜，以空间相机为平台实验变形镜对离轴三反系统像差的校正。采用干涉仪和平面反射镜测量系统的波像差，采用系统像差响应构建变形镜响应函数，校正后系统波像差由0．122λ降低至0．0896
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