飞秒激光辐照Ge2Sb2Te5相变薄膜的拉曼光谱研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haierv70

【摘要】

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室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si（100）基片上制备了Ge2Sb2Te5（GST）薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其

【作者】

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孔杰魏慎金王召兵李国华李晶

【机构】

：

曲阜师范大学激光研究所,复旦大学信息学院光科学与工程系,复旦大学微纳光子结构教育部实验室

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

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2011年1期

【关键词】

：

拉曼光谱 Ge2Sb2Te5相变薄膜飞秒激光退火 Raman spectroscopy Ge2Sb2Te5 phase change film femtos

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室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si（100）基片上制备了Ge2Sb2Te5（GST）薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的相变过程.随着辐照激光能量密度的增加,薄膜的拉曼峰位出现了定向移动.经200℃退火样品的拉曼谱与经24mJ/cm2飞秒激光辐照的样品拉曼谱相似,表明在一定条件下,超快激光光致相变与温控相变具有相似的效果.

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