【摘 要】
：
通过对微光纤法布里-珀罗（F-P）腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和分析,确立了反射镜的多层薄膜
【机 构】
：
中国科学院深圳先进技术研究院,西安电子科技大学微电子学院,厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
论文部分内容阅读
通过对微光纤法布里-珀罗（F-P）腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和分析,确立了反射镜的多层薄膜光学结构,并借助ANSYS有限元力电耦合分析,最终选择L型桥臂支撑的腔体结构,可以实现0.625μm的调谐范围;保持桥面平行的能力很高,可实现高精度的滤波效果;结构稳固,能够抵抗制造时的残余应力。
其他文献
<正> 贵州地处云贵高原东部,面积17.4万平方公里,其中可溶岩分布面积约占73％以上。省内气候温湿多雨,年降雨量在900～1400毫米之间。由于碳酸盐岩地层分布,不仅地表水资源丰富,
铀矿冶、电镀及电池工业废水的排放导致氟污染。吸附法由于操作简单和低成本已成为去除低浓度的含氟废水的优选方法。本研究以海藻酸钠为原料,并通过固化改性和高压电喷法批
在互联网时代,信息技术高速发展,电脑、手机等智能设备,已经成为了普通人的生产生活工具。技术的发展与创新,给各行各业带来数字化、网络化的变迁。iPhone的问世,移动通信网
高交联密度的酚醛树脂固化需要前采用有机溶剂稀释，降低其粘度以满足储存和使用的需要，其生产工艺技术已经成熟。但是该类树脂生产成本较高，在生产和使用过程中易产生有毒气体，并
溶隙流一般称为分散流；岩溶管道流一般称为管流。本文仅研究分散流场的示踪探测问题。为此，导出了各类分散流场示踪数学模型，建立了各类分散流场与示踪曲线的对应关系，并以猫跳河
根据考古材料,我国种植水稻已有七千多年历史。现在我国人民中有三分之二左右的人口以稻米为主要粮食。全国各省、市、自治区中,除青海、甘肃和内蒙古三个省区外,都有水稻生
龚维祥,湖北长江天鹅洲白鱀豚国家级自然保护区管理处工程师。龚维祥长期从事江豚水生野生动物保护宣传工作,在落实《水生野生动物保护法》、《自然保护区条例》、《渔业法》
本文认为新时期社会主义核心价值观是引领城市社区文化建设的逻辑起点，分析了社会主义核心价值观引领城市社区文化建设的文化依据，提出了社会主义核心价值观引领城市社区文化建
砌筑材料在人类历史上沿用近千年,例如砖,石材等,创造了很多辉煌的建筑文明。但是伴随着工业革命与现代化进程,传统的砌筑方式的弊端得到凸显。“三明治”墙体构造的出现,建