【摘 要】
：
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是一种新的干法刻蚀技术,具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点,并且能够独立控制等离子体密度和自偏置电压.然而,在利用这种技术进行刻蚀的过
论文部分内容阅读
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是一种新的干法刻蚀技术,具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点,并且能够独立控制等离子体密度和自偏置电压.然而,在利用这种技术进行刻蚀的过程中,经常会发生聚合物的沉积,从而阻碍了刻蚀过程的继续.我们报道了在熔融石英表面刻蚀光栅时不产生聚合物沉积的技术,给出了优化参数.所制作的熔融石英普通光栅和600线/mm的高密度光栅的表面很干净,没有聚合物沉积.光栅衍射效率的实际测量值和预期的理论值吻合得很好.最后还研究了ICP技术的刻蚀速度,刻蚀均匀性和过程可重复性等参数.
其他文献
IgG受体（Fcγ受体，FcγR）是重要的免疫应答调节分子。在人类，有3种白细胞FcγR，FcγRⅠ（CD64）、FcγRⅡ（CD32）及FcγRⅢ（CD16）。FcγRⅡ具有两种功能不同的亚型，FcγRⅡA和FcγRⅡB。这两
目的 了解广西壮族自治区部分艾滋病感染者抗病毒治疗后免疫功能恢复与病毒抑制效果.方法 2004年7月至2005年10月在广西南宁与柳州地区招募接受抗病毒治疗时间＞3个月的艾滋病
目的 观察比较累及黄斑的孔源性视网膜脱离行巩膜扣带术和玻璃体切割术后黄斑区OCT的变化.方法 孔源性视网膜脱离患者34例34眼根据病情分为2组,A组22例22眼行巩膜扣带术.B组1
目的 评价电针与丁丙诺啡合用对慢性炎性痛大鼠脊髓背角P物质(SP)、降钙素基因相关肽(CGRP)表达的影响,探讨其镇痛机制.方法 鞘内置管成功的成年雌性SD大鼠30只,随机分为5组(
目的 比较氯诺昔康和氯诺昔康复合芬太尼用于烧伤整形患者术后自控静脉镇痛的效果和不良反应.方法 选择60例18～53岁的烧伤整形患者,分为3组,L组20例,术毕静脉注射氯诺昔康负荷
目的 探讨肝移植术后应用西罗莫司的抗排斥替换治疗效果.方法 回顾性分析50例肝移植或肝肾联合移植患者替换西罗莫司前后肝肾功能的改善情况及副作用和排斥反应的发生率.34例
本文以GNU/Linux为例讨论了源代码的内部结构在自由软件开发中所起的重要作用。为此,我们考虑了源代码的模块化属性。源代码的模块化将直接影响开发者是否参与对自由软件的开
患者,女,23岁。2006年6月9日来我科门诊,诉左耳塞入1枚磁性金属异物后耳鸣、耳胀伴听力下降1h余,在他院就诊,未发现异物,给予3%过氧化氢冲洗左外耳道后来我科。检查见左外耳
目的 化学合成针对乙型肝炎病毒(HBV)S基因的siRNA,同时制备针对相同区段的shRNA表达框,并比较二者对HepG2.2.15细胞中HBV基因表达和病毒复制的抑制作用.方法 化学合成针对HB
目的 探讨利用计算机辅助设计与制造(CAD/CAM)技术进行个体化塑形颅骨缺损修补术的临床价值.方法 2004年5月-2006年3月收治颅骨缺损患者32例,将患者颅骨缺损前后CT数据在计算