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高K栅介质研究进展
高K栅介质研究进展
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cashwang
【摘 要】
:
介绍了国内外对高K栅极介质的研究现状.分析了适合用于作为栅极介质的高介电常数材料的种类,用于制备高K薄膜的方法.最后提出了目前有待于进一步解决的问题
【作 者】
:
赵毅
【机 构】
:
上海华虹NEC电子有限公司逻辑技术开发部
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
栅极介质
高介电常数材料
高K栅介质
介电层
场效应管
二氧化硅
high K
gate
dielectric
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介绍了国内外对高K栅极介质的研究现状.分析了适合用于作为栅极介质的高介电常数材料的种类,用于制备高K薄膜的方法.最后提出了目前有待于进一步解决的问题
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