【摘 要】
：
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件（DOE）、微透镜阵列（MLA）和微反射镜阵列（MMA）的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
【基金项目】
：
国家科技重大专项项目（2009ZX02205-001）资助课题；
论文部分内容阅读
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件（DOE）、微透镜阵列（MLA）和微反射镜阵列（MMA）的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。
其他文献
为促进娄底市乡村旅游发展，实现文旅融合，本着“以文促旅、以旅彰文”的原则，指出了乡村旅游发展中文旅融合的重要意义，针对文旅融合视角下娄底乡村旅游发展路径进行了探究。应在乡村旅游发展中深耕乡村文化内涵，加强文旅融合机制，开展精准营销，提高乡村服务质量，从而全面提升乡村旅游发展品质，助力乡村振兴。
＜正＞作为陀思妥耶夫斯基（1821—1881）生前创作的最后一部长篇小说，《卡拉马佐夫兄弟》以一桩弑父案向世人展示了一场有关信仰、理性、自由意志、情欲的相互角斗。故事中这个最终因角斗四分五裂的家庭也蕴涵陀思妥耶夫斯基对于社会严峻形式的隐喻：“我们这里开始了一个普遍‘隔绝’的时代。”陀思妥耶夫斯基一直在为这种“隔绝的时代”寻找一种合适的表达方式，一种隐喻：这就是“围墙”意象。在陀思妥耶夫斯基的小说中
阐述初中英语读后活动的目的和作用，分析目前初中英语读后活动设计存在的问题，即脱离文本内容、脱离能力培养、脱离学生实际。指出教师要以文本为依据、以学生为主体、以思维发展为目的、以生活为背景设计读后活动。结合教学实例，探究初中英语读后活动的类型，即复述型、讨论型、表演型、续尾型、写作型。
目的 观察电针联合芒针透刺治疗急性卒中后尿失禁的临床疗效及对患者膀胱功能及尿流动力学的影响。方法 将104例急性卒中后尿失禁患者,随机分为观察组和对照组,每组52例。对照组给予常规治疗和电针治疗;观察组在对照组治疗基础上给予芒针透刺治疗。观察两组治疗前后排尿日记、生活质量（QOL）评分、下尿路症状（LUTS）评分、尿流动力学和膀胱功能变化,并比较两组临床疗效和治疗期间不良反应发生情况。结果治疗后,
“双减”政策的实施为义务教育阶段的学生提供了更多的自主学习时间，其中计算机编程知识的学习成为初中生的重要选择。同时，翻转课堂弥补了传统计算机编程教学方式的不足，可以结合多平台网络资源为学生提供更多的自主学习机会。本文基于初中计算机编程教学现状提出多工具支持的翻转课堂教学策略，以期提高学生对计算机编程的学习兴趣，培养其数字素养。
化工工业是我国国民经济的支柱产业,产品遍布国民经济中的各个领域,属于资金、技术高度密集型产业。由于其具有门类繁多、工艺工序复杂、产品多样、连续生产等特点,导致化工生产企业在实施全面预算管理时面临诸多难题。因此,如何分析和解决全面预算管理难题,成为化工生产企业切实、有效实施全面预算管理的关键。本文在分析化工生产企业实施全面预算管理的重要性基础上,探讨了化工生产企业实施全面预算管理的难点和问题,并针对
＜正＞黑龙江大庆市用好身边事定向敲警钟“大庆龙南医院原让北医院院长王文忠，理想信念丧失，纪法意识淡薄，无视中央八项规定精神……”前不久，大庆市卫生健康系统定向警示教育启动会召开，与会人员观看警示教育专题片、签订廉政承诺书。会上，市纪委监委工作人员结合典型案件开展预防职务犯罪宣讲，重点对工程承揽、医疗项目合作、医疗耗材采购等违纪违法问题易发多发风险点进行讲解。据了解，该市纪委监委将在市属国企、
雷达测距测速应用中的精确性取决于时间上的高分辨率，而传统基于有限长单位冲激响应（finite impulse response, FIR）滤波的高精度延时设计所需的滤波阶数过高，滤波处理较慢且复杂。为了加快滤波速度和节省硬件资源，将数字内插与多相滤波技术结合，提出了一种基于多相滤波的高精度延时设计方案。根据延时精度对FIR滤波系数向量重新排序，依据延时量大小选择多相子滤波器对采样序列进行滤波处理，
采用文献资料法、录像观察法、四段指标评估法、数理统计法等，对我国优秀乒乓球运动员陈梦和日本名将伊藤美诚交手过的四场国际大赛视频资料进行数据统计，对比分析两名运动员对战时的技战术运用特点，以期为陈梦今后备战伊藤美诚提供参考。
本文针对某一设备的需求，设计了一种具有快速引导功能的高效数字信道化接收机。并利用Verilog语言在FPGA上完成了门电路实现。最终完成了2.5GHz采样率16子通道数字信道化接收机及其快速引导功能的板级实现，并验证了该结构的可靠性和高效性。