【摘 要】
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用 ANSYS 软件对 RF MEMS 接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系。在力电耦合分析的
【机 构】
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华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,华东师范大学电子科学技术系,中国科学院上海技术物理所红外物理
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用 ANSYS 软件对 RF MEMS 接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系。在力电耦合分析的基础上对开关进行了疲劳特性分析,得出了开关的循环使用次数并与实验结果进行了比较,分析了数据差别比较大的原因,改进了测试开关寿命的方法。
The ANSYS software was used to analyze the RF MEMS cantilever switch model. The driving voltage was compared under several conditions. The relationship between the driving voltage and Young’s modulus, the geometry of the cantilever beam and the area of the electrode was discussed. Based on the electromechanical coupling analysis, the fatigue characteristics of the switch were analyzed, the number of cycles of the switch was obtained and compared with the experimental results, the reason for the relatively large difference of the data was analyzed, and the method of testing the life of the switch was improved.
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