【摘 要】
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将用IAD法在CAB玻璃基体上沉积的SiO2薄膜在600℃条件下部分进行退火,然后在不同湿度气氛中进行老化处理。利用分光光度计、纳米硬度计和扫描电镜研究了退火处理及不同老化气
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将用IAD法在CAB玻璃基体上沉积的SiO2薄膜在600℃条件下部分进行退火,然后在不同湿度气氛中进行老化处理。利用分光光度计、纳米硬度计和扫描电镜研究了退火处理及不同老化气氛对SiO2薄膜的光谱性能、硬度及摩擦性能的影响。实验结果如下:虽然退火和老化方式影响SiO2薄膜的结构,但不同处理的SiO2膜层表面摩擦系数均小于CAB玻璃基体,退火处理后的SiO2薄膜硬度高于不退火处理的SiO2薄膜硬度;SiO2薄膜在可见光区内对CAB玻璃能够起到有效的增透作用;退火处理后红外透过率提高。实验结果表明CAB玻璃表面镀SiO2薄膜在不损害光谱性能的同时可以起到有效地防护作用,显著提高其耐摩性能。
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