【摘 要】
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MEMS是当前研究的一个热点,微机器人对于发展MEMS具有重要意义,也是MEMS的一项不可缺少的内容。微动技术是机器人学理论的一个重要分支,也是发展微机器人及相关微技术的基础
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室
【基金项目】
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中国科学院沈阳自动化研究所创新基金资助项目(F020110)
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MEMS是当前研究的一个热点,微机器人对于发展MEMS具有重要意义,也是MEMS的一项不可缺少的内容。微动技术是机器人学理论的一个重要分支,也是发展微机器人及相关微技术的基础。目前,各种新型微驱动器层出不穷,极大地推动了微机器人技术的发展。对于微动原理进行分析,从本质上弄清微动产生的机理,不仅可以丰富机器人学理论,还有可能使微动技术产生质的飞跃。从这一角度出发,对各种微动原理加以详细分析和比较,以期得出有意义的结论。
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