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本文介绍用稳频横塞曼激光(STZL)作光源,研制了光外差法正弦尺干涉测角计装置,提出校正测角灵敏度的一种方法,并用此装置测量压电陶瓷(PZT)的滞后特性。
光外差法正弦尺干涉测角计
【摘 要】
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本文介绍用稳频横塞曼激光(STZL)作光源,研制了光外差法正弦尺干涉测角计装置,提出校正测角灵敏度的一种方法,并用此装置测量压电陶瓷(PZT)的滞后特性。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1985年5期
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