【摘 要】
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采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极．先通过UV-LIGA技术制作微细群孔工具电极，然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极．选取优化的工艺参数
【机 构】
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南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
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采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极．先通过UV-LIGA技术制作微细群孔工具电极，然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极．选取优化的工艺参数：前烘110℃保持12h；三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min、90℃保持30min；采用谐振式电火花电源，电压200V、峰值电流1．5A、脉宽3．2μs、脉间6．4μs、放电间隙12μm等，制备了直径85μm、长1．51mm，长径比达17．65的微细阵列电极．最后用制作出的微细阵列电极作为工具电极进行微细电解加工实
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