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对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析 ,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究 ,仿真结论与样机实验结果相吻合
电容式角位移传感器电场有限元仿真研究
【摘 要】
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对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析 ,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究 ,仿真结论与样机实验结果相吻合
【机 构】
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天津大学电气自动化学院
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年04期
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