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介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.
双光子三维微细加工的进展
【摘 要】
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介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年期
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