【摘 要】
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为研究氧化钇掺杂强化在薄膜中的应用,通过双靶磁控共溅射方法,制备了氧化钇弥散铁薄膜,利用X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪表征其结构、成分、
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为研究氧化钇掺杂强化在薄膜中的应用,通过双靶磁控共溅射方法,制备了氧化钇弥散铁薄膜,利用X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪表征其结构、成分、形貌和纳米硬度.采用真空封管退火技术对薄膜进行热退火处理.实验结果表明,成功制备的铁基薄膜钇、氧元素弥散程度较好,在500℃真空退火处理后,铁薄膜的纳米硬度显著提高;随着氧化钇掺杂量的增多,纳米硬度增长率提高.该真空热处理方法为改善氧化物弥散强化合金的力学性能提供了借鉴.
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