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随着人们对能源短缺和环境问题的持续关注促使光伏产业在近年来得到迅速发展，多晶硅作为光伏产业的基础材料备受瞩目。本文回顾了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状，并对目前多晶硅生产主流技术一改良西门子法中干法尾气回收工艺进行了改进。在满足现有工艺需求基础上，通过对工艺过程中冷量综合利用，并经过AspenPlus核算分析，可使干法尾气回收系统在现有基础上节约10％电量、14％蒸汽用量，可大大降低多晶硅生产成本，提升行业竞争力。