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多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料，而这些硅料中如果存在重掺料，会降低硅锭预期电阻率，影响硅锭品质。如果将重掺料检测出并去除，便能够将多晶硅锭电阻率按生产要求控制在1～3Ω·cm，并使多晶硅锭电阻率符合预定规律。
多晶硅铸锭原料中重掺料的影响
【摘 要】
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多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料，而这些硅料中如果存在重掺料，会降低硅锭预期电阻率，影响硅锭品质。如果将重掺料检测出并去除，便能够将多晶硅锭
【机 构】
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南京三乐集团有限公司,南京医科大学康达学院
【出 处】
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河南科技
【发表日期】
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2017年17期
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