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低温刻蚀被用来进行硅微深孔加工.文中介绍了感应耦合等离子体(ICP) 刻蚀原理,通过对国产ICP进行改造,在SF6/O2气体条件下进行低温刻蚀,利用低温钝化机理控制工艺,减少器件损伤.
改造国产ICP进行低温刻蚀
【摘 要】
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低温刻蚀被用来进行硅微深孔加工.文中介绍了感应耦合等离子体(ICP) 刻蚀原理,通过对国产ICP进行改造,在SF6/O2气体条件下进行低温刻蚀,利用低温钝化机理控制工艺,减少器件损
【机 构】
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河南机电高等专科学校
【出 处】
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河南机电高等专科学校学报
【发表日期】
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2005年6期
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