【摘 要】
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为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧
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为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧高温处理并抛光,获得了无裂纹的光学级金刚石自支撑膜。应用扫描电镜、拉曼光谱、正电子湮没技术和光致发光谱对金刚石自支撑膜进行表面形貌及缺陷分析,讨论了Ar和H在电弧处理中的作用。结果表明：等离子体处理对不同强度金刚石自支撑膜的强度提高幅度不一,最高可达71.6%;电弧处理后空位浓度相对降低,空位和N杂质形成了更多的复合体。,金刚石膜中N杂质与空
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